半导体行业的转机？海德堡仪器公司收购Multiphoton Optics，开发3D光刻系统

导读：随着全球芯片的短缺，各大公司正在纷纷寻求新的技术来现有的危机，增材制造也是其中一个选项。

南极熊获悉，2021年3月30日，Multiphoton Optics GmbH已正式成为Heidelberg Instruments Mikrotechnik GmbH的全资子公司。本次收购代表了微结构生产和技术的结合，进一步强化了德国制造在激光系统领域的研究、开发和生产。此次合并还扩大了公司在微光学领域的市场地位。

△NanoFrazor Professional

即将担任Multiphoton Optics首席执行官的Benedikt Stender博士表示，海德堡仪器公司是理想的合作伙伴，合并将使客户、员工和技术本身受益。利用海德堡仪器的全球网络提高了MPO的知名度，使公司能够开发双光子聚合的新系统，并为越来越多的客户提供支持。

△用NanoFrazor尖端制成的锋利的垂直银电极。精确控制到Pt的距离使原子丝能够在高频（100 MHz）和低压（100 mV）下打开和关闭。

3D光刻与微光学领域的扩张

Multiphoton Optics（MPO）的员工现已成为激光光刻技术国际市场领导者之一的海德堡仪器家族的一员。海德堡仪器首席执行官Konrad Roessler称，MPO是双光子光刻技术的先驱，已经开发出了用于亚微米级的3D打印的高性能曝光系统。MPO缩小了传统激光光刻技术之间的差距，本次收购将会进一步扩大公司在微光学和结构化表面领域的地位。

△Multiphoton Optics的无掩模3D光刻技术可在单个处理步骤中制造复杂的结构。SEM图像示例性地显示了为新颖的成像或照明应用生成透镜系统的能力。

目前，MPO专门研究自由3D曲面表面和各种3D结构的生产，尤其着重于微光学。研究和开发重点主要放在双光子聚合（TPP）的制造过程以及特定应用的软件和硬件模块上。海德堡仪器公司对MPO进一步开发3D光刻系统抱有很高的期望，而Multiphoton Optics将获得新母公司的销售支持、生产能力和全球服务网络。

△使用NanoFrazor图案化和剥离技术将高分辨率金属顶栅准确地放置在InAs纳米线的顶部。

海德堡仪器与半导体行业

海德堡仪器公司（HIMT）拥有1000多个已安装的系统，是开发和生产高精度光刻系统和纳米加工工具的领先国际厂商之一。HIMT系统已安装在世界各地的工业和科学设施中。它们可用于有效的直接成像，以及用于多个领域的光掩模制造，包括半导体、量子计算、光子学、2D材料、IoT和许多相关的应用领域。海德堡仪器公司拥有超过35年的经验和高度敬业的开发人员，可提供针对微纳米加工要求和特定客户量身定制的复杂光刻解决方案。

△ULTRA半导体激光掩膜机

受疫情影响与日益紧张的国际局势，全球的芯片短缺问题给国内外电子工业领域造成了很大的打击。南极熊曾在2021年3月31日曾探讨过全球芯片短缺是否会影响3D打印（https://www.nanjixiong.com/thread-145526-1-1.html）。结论是，会影响，但同时3D打印技术或许也会成为解决方案中的一部分。例如，3DSystems正在试图通过改进晶圆台热管理、歧管流体流优化等手段来简化、优化电子制造。南极熊认为，本次的收购也同样代表了增材制造技术向半导体制造业的挑战。

△单个20nm AuNP的确定性组装。a）单个20 nm AuNP阵列的SEM照片。b）具有不同聚集状态的20nm AuNPs簇的SEM照片。

海德堡仪器在半导体领域内有着丰富的经验。2019年，这家公司曾为中国光掩膜集团提供半导体激光掩模写入器ULTRA。在2021年，公司的NanoFrazor Scholar热扫描探针光刻系统成功安装在了中国杭州西湖大学的郑小睿博士的光电子纳米芯片高级光刻实验室（ALIEN）中。此外，海德堡仪器的NanoFrazor还在多项科研中作为重要工具提供技术支持。例如，中国南京大学的研究人员成功组装尺寸小于20纳米的功能性颗粒；苏黎世联邦理工学院和亚琛大学研究人员利用相变材料制成新型超表面。相信未来这家公司生产的仪器还会为更多科研团队和整个半导体行业带来更多新的纳米电子器件。

△苏黎世联邦理工学院和亚琛大学研究人员利用相变材料制成新型超表面

关于Multiphoton Optics

Multiphoton Optics GmbH是从Fraunhofer-Institute硅酸盐研究ISC独立出来的公司，成立于2013年，总部位于维尔茨堡，是通过双光子聚合（TPP）进行3D光刻的全球解决方案提供商。这种技术可以在微光学和微系统技术、光学互连、微力学和生物医学工程中制造复杂的功能结构。

△NANOFRAZOR SCHOLAR

参考阅读：

1. MERGER OF HEIDELBERG INSTRUMENTS AND MULTIPHOTON OPTICS
2. 全球芯片短缺会影响3D打印机吗
3. CHINESE PHOTOMASK GROUP ORDERS SEMICONDUCTOR LASER MASKWRITER
4. REMOTE INSTALLATION RECORD FOR NANOFRAZOR
5. Deterministic Assembly of Single Sub‐20 nm FunctionalNanoparticles Using a Thermally Modified Template with a Scanning Nanoprobe
6. The Potential of Combining Thermal Scanning Probes andPhase‐Change Materials for Tunable Metasurfaces
7. RAPID PROTOTYPING OF NANOELECTRONIC DEVICES